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1.X轴行程:1500mm,运动直线度≤0.015mm,位置调节分辨率≤0.001mm,驱动方式电动+手动;2.Y轴行程:200mm,运动直线度≤0.01mm,位置调节分辨率≤0.001mm,驱动方式手动;3.Z轴行程:80mm,运动直线度